打开FEI公司的主页，如同看到纳米世界的邀请函，在他们的产品序列里，以显微镜为主线的纳米工具给我们开启了纳米的新世界，使得我们有机会看到纳米世界的精彩。借助这些工具，我们有可能实现纳米级别的加工工艺，尤其是电子领域的探伤和工艺检测，都需要高精度的纳米显微镜。
最近有报道说，中芯微电子终于突破了45nm工艺的制造难题，这其中就有纳米工具的功劳。在进入22nm工艺之后，电路之间的绝缘层可能薄到160~320个原子的规模，这时对半导体的制造实际上提出了新的要求，半导体制造面临着更多挑战。
现在纳米工具主要集中在微电子领域和研究教学等方面，但是纳米科技的应用范围远不止如此。在生物和医疗方面将更有大的发展前途。比如最近的一项研究主要是通过纳米技术进行物理的治疗，科学家已经实现了通过纳米小机器人实现对癌变组织的超声波释放，实现对这种病的治疗。
纳米港的机遇
反复提到FEI，主要在于它在上海建设了一个纳米港，这是继美国、荷兰和日本之后，FEI在全球的第四个纳米港。他们认为中国处于纳米研究的前端，并且每年的研发投入费用增长相当快，在医疗和微电子方面前景非常广阔。
这个纳米港提供工具和培训场所，并提供合作研究的空间，目前跟一些大学或研究机构合作，进行纳米科技的研究。但是纳米研究也是高投入的行业，设备相当昂贵，并且按照现在的发展速度，折旧的速度也会非常快。
因而，按照我国目前的科研设备购买的申请程序，可能无法完成这样工具的申购，因而纳米港提供了一种合作研究的可能性，这是FEI展示纳米世界的窗口。
奇怪的是，这么昂贵的设备，FEI并不提供租赁服务，这极大限制了这种设备进入研发领域。同样，他们把纳米港放在了上海，看中的是长江三角洲电子产业集中，这里集中了不少芯片设计和生产线。
纳米危害未为可知
这就给纳米科技带来了新的曙光，通过纳米技术实现以前化学和物理手段都无法达到的程度，尤其是对人体的效用。但是纳米技术本身是双刃剑，由于纳米颗粒可以轻易穿透生物膜缝隙，因而可以在人毫不知觉的情况下进入人体。现在的争议就是：到底纳米微尘对人的伤害有多少？有一个针对这个技术的研究发现，进入细胞的炭纳米管在头两天不会对人造成影响，但再过两天之后，纳米管开始凝固，因而对人会造成伤害。这是首次关于纳米管与生物体的互动活性的观察。因而，在纳米材料制造方面，就需要有更多的保护措施，这些颗粒即便不是通过呼吸道进入，也会很容易通过皮肤接触进入……
现在，真正的纳米材料并不太多，纳米工艺制造成本不低制约了纳米材料的广泛使用。实际上，我们对纳米材料本身的特性尚不熟悉，更不要说我们如何大规模应用了。电子领域将是纳米材料最广阔的空间。因而，FEI也提供了足够多的微电子工具，包含软件探伤工具等等。这类设备将随着工艺的进步而变化。
比如晶圆探伤，生产线从200mm~300mm转移的时候，探伤工具也必须满足这样的尺寸要求，按照现在的发展趋势，晶圆将达到400mm规模，到时候还将继续变化。
纳米走入生活
如果说芯片早已采用我们熟知的纳米技术的话，它们只不过是被封装的纳米材料。在纳米的研究领域，还有更多可能让我们获益的东西。
纳米电子显微镜通过电子束的扫描或者其他方式，在CCD上成像，这些工具就有可能帮助研究更好的产品。比如通过细节观测，可考察材料的耐用程度，一个很有用的例子就是航空喷气发动机叶片的探测。在叶片制造过程中，需要加热到高温，并且快速旋转和急速冷却，保证金属内部晶体排列的一致性，从而提高叶片的韧性等。如果要通过以小见大的方式，还可以通过这种设备探测机体金属的疲劳程度，从而让飞机更安全。
只不过这些都还没有成为常态项目，只是纳米研究的额外收获。这从另外一个方面也表明，纳米科技不仅仅是材料工艺，也是关乎生活的新技术。
在医疗和生物领域，新药的制造，疾病的研究，尤其是传染性疾病的控制，很多传统方式无法实现的，都可以在纳米层面实现。
现在FEI公司的显微镜产品已经突破了1埃的限制，达到了0.5埃，进入了亚埃空间，这是认识领域的巨大突破。我们看到，纳米科技已经与我们密切相关，精彩还在纳米后……
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来源：
占普网
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